三维白光干涉表面形貌仪

现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。三维白光干涉表面形貌仪则实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

中图仪器研发生产的SuperView W系列三维白光干涉表面形貌仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它以白光干涉待删除信息了它能够适用于从光滑到粗糙等各种精密器件的表面质量检测。

产品参数

产品型号：SuperView W1系列

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可测样品反射率：0.05%-100%

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效

产品特征

纵向扫描：≤10.3mm，与选用物镜相关

扫描帧速：50FPS/s

粗糙度重复：0.005nm（依据ISO 25178-2012）

光学分辨率：0.4μm~3.7μm，与选用物镜相关

最大点数：1048576（标准）

台阶测量：准确度≤0.3%，重复≤0.08%1σ

中图仪器的三维白光干涉表面形貌仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。