F2000系列皮拉尼真空传感器

产品详情

F2000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破的真空测量方案。该传感器外形微小，同时又具有超低功耗，长寿命，低现场维护，和低成本的优点。 该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小（即空腔容积小），能够提供超低的功耗和快速的响应时间。

传感器特点

超低功耗<5毫瓦 

快速响应时间<5毫秒 

耐冲击至1000g 

可测量气体体积最低至0.1 cm3

低噪声

高分辨率

同一芯片上进行温度传感

长期稳定

可用溶剂浸泡清

主要应用

分析仪器

使用前级真空的封闭系统的检漏

半导体设备

真空包装机

便携式数字真空计

小型机械系统（如泵）以达到规定的真空度

低成本真空开关来验证1托以下的真空度

技术指标

工作温度：-40 °C至125°C (可提供更高温度型号)

湿度：0到100%RH，非冷凝

耐冲击：1000g

超压：27.5Bar