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吸附脱附+催化燃烧废气处理设备是采用低温氧化技术，即在贵金属催化剂作用下，将有机气体加热到分解温度使气体净化。在高浓度低风量废气环境下使用效果较好。
工艺原理及流程：催化净化是典型的气固相催化反应，其实质是活*氧参与的深度氧化作用。在催化净化过程中，催化剂的作用是降低活化能，同时催化剂表面具有吸附作用，使反应物分子富集于表面提高了反应速率，加快了反应的进行。借助催化剂可使有机废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并氧化分解为CO2和H2O，同时放出大量热能，从而达到去除废气中的有害物的方法。废气进行有效收集后，先进行预处理，再进入活*炭吸附装置，气体在活*炭床层保持一定的停留时间，气体中的VOCs被吸附在活*炭表面，洁净气体从活*炭床层排出后可以直接通过引风机排空，经过RCO处理后的洁净气体通过热交换到一定温度后作为脱附风，通过活*碳床进行脱附，从活*炭吸附装置脱附出来的浓缩有机物进入RCO装置后通过贵金属催化剂燃烧分解，分解温度在200-250℃，有机废气被分解成二氧化碳和水，以此循环，待废气脱附分解完成后排入烟筒后达标排放。
催化燃烧法是在催化剂的作用下，将VOCs有机废气在200-350℃的低温下分解为CO和H2O，是净化碳氢化合物废气，恶臭气体的有效手段之一。2013年5月24日开始实施的《挥发*有机物（VOCs）污染防治技术政策》，把热力燃烧和催化燃烧技术作为重点推荐的有机废气处理技术。催化燃烧法对催化剂要求比较高，含硫、含氯VOCs易使催化剂中毒。
有机废气加热到760摄氏度（具体需要看成分）以上，使废气中的VOC在氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体流经特制的陶瓷蓄热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热后续进入的有机废气。从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热室应分成两个（含两个）以上，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入适量洁净空气对该蓄热室进行清扫（以保证VOC去除率在98%以上），只有待清扫完成后才能进入“蓄热”程序。否则残留的VOCS随烟气排放到烟囱从而降低处理效率。
催化净化装置主要由壳体、换热器、电加热系统、催化床、控制系统等组成。各部分运行相互连锁、运行稳定。催化净化装置主要是利用催化剂来改变反应条件以达到在较低条件下去除有机物的净化装置，催化净化装置内所发生的气-固相催化反应的实质是活*氧参与的深度氧化作用。在催化净化过程中，催化剂用来降低化学反应的活化能，使反应条件更用利于所能控制的条件。借助催化剂的作用使废气在较低的起燃温度条件下，发生无焰燃烧，并将其氧化分解为无害的CO2和H2O同时放出大量的热能，从而达到去除废气中有害物质的目的。
蓄热式催化氧化装置（RegenerativeCataiyticOxidizer),结合蓄热式热力氧化及触媒氧化，此项技术可降低RTO系统的温度，有效提高破坏效率及燃料的用量、RCO系统是以RTO的构造作为基础，在氧化炉中加上一层特殊的催化剂材料，利用催化剂氧化提供足够破坏VOCs所需的热能，以降低RTO系统的操作温度，提高氧化反应的速度。与热力燃烧不同，RCO属无焰燃烧，处理入口废气超过300℃会自动关闭助热气，因其针对环境友好，高效节能而被广泛应用。
