高端半导体专用氧化铈抛光液

我公司自主研发生产的抛光专用纳米氧化铈浆料中金属离子总浓度45ppm；尺寸分布窄，一次颗粒粒径中央值为25nm，颗粒粒径中央值为180nm，抛光液中最大颗粒尺寸＜320nm抛光专用的氧化铈浆料，是采取先进的处理工艺，氧化铈粒子激光粒度平均粒径180纳米，氧化铈一次粒径为21纳米，外观为白色呈蓝相的牛奶状水性液体。具有非常高的抛光效率和稳定性。适合于对半导体电子元件、光学器件等产品的抛光亮化。