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光蚀刻产生的特征其位置公差一般在图纸标称0.001英寸内。蚀刻的尺寸公差为材料厚度和板材尺寸的函数。五金加工一般规律是，公差越大，板材尺寸就越大，零件成本就越低。
可以实现的最小公差范围为：对于小于0.010英寸的厚度，为材料厚度的±10％。对于厚度为0.010～0.020英寸的零件，公差范围为±0.0015～±0.0025英寸。对于0.021～0.035英寸的厚度，最经济的公差为±0.005英寸。对于超出0.035英寸的厚度，尺寸公差带将近似等于材料厚度的±20％。
最小的孔或微型槽的尺寸，对于厚度在0.02英寸以内的材料，精密零件加工必须至少为材料厚度的110％ ;对于厚度超出0.020英寸的金属，为材料厚度的120％。孔或槽之间最薄的区域必须至少等于材料厚度。内、外侧半径的最小尺寸等于材料厚度。
