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购买全自动lpcvd设备首选青岛福润德
点击图片查看原图
材质:
不锈钢
温度:
1160
规格:
frd-002
单价:
电询
起订:
1 台
供货总量:
5 台
发货期限:
自买家付款之日起
30
天内发货
所在地:
山东 青岛市
最后更新:
2022-03-04 14:18
浏览次数:
32
公司基本资料信息
福润德微电子设备有限公司
联系人
颜(先生) 经理
会员
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[发送信件]
邮件
896337158@qq.com
电话
0532-68017157
手机
13658669338
地区
山东-青岛市
地址
青岛市城阳区北万工业园
产品详细说明
满足半导体集成电路,电力电子器件,光电子等行业用于在硅片上淀积
sio2
、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及难溶金属硅化物等多种薄膜工艺。
技术参数
:
熔炉管
: 2-Tube (LPCVD
工艺
: 1tube/
熔炉工艺
:1tube)
晶圆大小
: 4
英寸或
6
英寸
装载晶圆数
: 1--10
张
基板加热用加热器
:
垂直型
1-Zone
加热器
加热器表面温度
: 1250C
低真空度
:
<
0.005Torr
真空泵
:
机械泵
(
选项
:
罗茨泵
或者分子涡沦泵
+
机械泵
)
工艺控制方式
:
根据程序及顺序的自动方式
系统规格
: 1660mm(W) X 600mm(D) X 1830mm(H)
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