晶圆研磨机GNX200B-日本OKAMOTO晶圆减薄

晶圆研磨机GNX200B-日本OKAMOTO晶圆减薄

晶圆研磨机GNX200B-OKAMOTO晶圆减薄特点：
·GNX200B拥有BG贴膜研磨技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行平坦化加工。
·耗材损耗小，成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。

GNX200B晶圆研磨机/晶圆减薄规格：
规格                    GNX200B     GNX300B
加工直径     Ф200     Ф300
轴承旋转数     0~3600min-1     0~3000min-1
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P     5.5/4 Kw/P
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数                      2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸（外径）          Ф250                     Ф300
质量                     3900mm     5700mm

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