ADTEC AX-1000II 13.56Mhz RF Plasma电源维修 上海射频电源维修中心

上海帝越电子科技有限公司主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造设备以及科研院校、技术研究所等行业。专业维修电源！

公司配备专用维修、检测和负载测试工具，有多年的丰富维修经验，服务具体如下：

服务机台

刻蚀（ET）：LAM　9400、9600

AMAT　CENTURA　II＆I

AMAT　SEMVision　G2

离子注入（DF）：VARIAN

EATON（axcelis）

NISSIN

AMAT　PI9500　9200

光刻（PH）：NIKON　NSR

ASML　5500

太阳能光伏PECVD：centrotherm（管式镀膜）Roth＆Rau（平板式镀膜德国）

服务品牌

AE（Advanced　Energy）、ENI（MKS）、SEREN、DAIHEN、VEECO射频电源，HiTek　power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、Powerone直流电源。ASTeX　Microwave　Power　Supply、ASTeX　SMART　MATCH、FLASH　LAMP、ESC　HV　PSU