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中山昊源电器设备有限公司真空电源介绍
本公司是一家专门从事真空镀膜电源研究、开发和生产应用，集科、工、贸为一体的股份制高新技术企业。公司总部座落在风景秀丽的中山市港口镇，建立了自己的科研、加工、检测、售前售后服务为一体的生产基地，现有厂房占地1000平方米。公司自创办至今，已经成长为能独立设计制造镀膜设备配套的各类大功率逆变开关电源及特种电源设备。研究开发了适应磁控溅射镀膜专用的系列逆变电源：包括大功率溅射电源系统：真空蒸发镀膜电源、中频溅射电源、脉冲溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等，现已广泛应用于真空镀膜行业。
公司奉行“以人才信息为资本、以品质和成本作竞争、以开发先进技术和优质服务为基础，变承诺为行动，视用户为上帝”的宗旨，运用现代企业的经营管理机制，采取灵活多变的营销策略，狠抓产品质量和售后服务，重视用户信息反馈。根据用户对设备的使用情况及时改进产品结构，产学研相结合，探索出了一条结合国内外有利因素、合理降低成本、提高产品质量和竞争力的发展途径，改善产品的性能,提高产品市场竞争能力，以一流的产品质量，优质的服务，不断开发新产品，满足用户和市场需求。
本系列大功率电源系统是替换传统可控硅电源理想产品，同等功率下节约电能40%以上。
一、 主要特点：
1．采用先进的开关电源技术，体积小、效率高、运行稳定、噪声低、对电网干扰小，在节能和镀膜工艺的稳定性上比传统电源有明显的优势。
2．采用先进的DSP控制系统，具备自动稳流/稳压功能，不随气压变化，充分保证镀膜工艺的重复性，精确控制膜厚和减少靶材用量。
3．抑制靶材弧光放电及抗短路功能。 具有极佳的负载匹配能力,既保证了靶面清洗工艺的稳定性，又提高了靶面清洗速度。
4．具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。
5．主要参数均可大范围连续调节。
6. 可N+1并联，实现大功率输出，方便维护，可靠性高。
7．PLC接口功能，方便实现自动化控制。
二、扩展功能：
1．具备恒定输出功率控制功能。
2．可累计输出功率，掉电后可长期保存。
3．可累计输出电流，方便用户计算靶材损耗；并可预置电流X时间输出控制。
4．具备RS485通讯接口功能，方便与PLC或工控计算机实现无误差传输，实现全自动控制。
5．可预置输出值。
6．智能报警功能，当输出值与设定值有偏差时，通过声光报警提醒用户。
7. 开码保护功能，可限制无关人员使用本机器。
8．多级输出功能。可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。
9．大屏幕液晶中文显示，界面友好，操作方便。
三、主要技术参数
1.输入电压： AC380V/3PH+N 50Hz
2.工作效率：≥90%
3．输出电压：0-800V/1000V/1200V 连续可调
4．输出电流：0-20A/40A/60A/80A/100A 连续可调
5．输出纹波：≤（100mv纹 波(rms);≤0.1%）
6．控制精度：≤1%
7. 显示精度：0.1A/1V
8. 控制模式：恒流/恒压/恒功率 可选
9. 外部接口: PLC模拟信号/RS485 可选
10．绝缘电阻：≥200MΩ
11．绝缘耐压：≥1500V/1分钟
12.外壳防护等级:IP21
13.环境温度：0~40℃
14、保护方式：具有过压、过流、缺相、过载等保护功能。告警功能：具有电流告警、短路告警功能。
以下为例：
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品名 |
中频磁控电源 |
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型号 |
MSB系列 |
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输入 |
相数 |
三相+N |
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电压 |
380V |
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频率 |
50Hz |
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输入方式 |
4线（含零线） |
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输出 |
波形 |
正负对称脉冲 |
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功率 |
10KW~100KW（可定制） |
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电压 |
0—1200V（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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电流 |
0—100A（可定制） |
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稳定度 |
≤1% |
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纹波及杂讯 |
2% |
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效率 |
≥90% |
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控制 |
控制方式 |
标准方式：恒流 |
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可选方式：恒流、恒压、恒功率可切换 |
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控制接口 |
标准方式：面板手动 |
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可选方式：面板手动、PLC模拟接口、RS485(Modbus) |
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保护 |
具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 |
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冷却 |
风冷或水冷 |
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外型 |
防护等级 |
IP21 |
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单元尺寸 (W*D*H) |
箱体：440(W)X260(H)X580(D) （30KW水冷） 面板：482(W)X280(H) |
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重量 |
约30KG（30KW） |
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备注 |
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产品质量保证书
中山市昊源电器设备有限公司是真空镀膜电源专业生产厂家。本公司生产的真空镀膜电源，原材料经过精心选择，产品生产均经过老化试验及出厂检验。产品质量有保证。本公司提供以下服务：
1、提品终身维护。产品质量保证期一年。在质量保证期内，因产品质量问题发生的设备故障（人为操作不当原因致使设备故障除外），我公司提供免费维修服务。
2、对于正常维修（保质期后）及由于人为操作不当或不可预见性事件致使设备故障而导致的产品维修，我公司负担产品维修过程中发生的修理调试人工费用，用户负担产品维修过程中发生的材料成本、交通及产品运输费用。
3、我公司对于真空镀膜电源技术问题提供免费服务，属于产品质量问题，24小时内给予明确答复或解决方案，保证48小时到达现场。
昊源镀膜电源与国内传统镀膜电源性能比较
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比较项目 |
昊源镀膜电源 |
传统镀膜电源 |
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逆变器件 |
采用进口大功率IGBT模块，如德国英飞菱，日本富士、三菱等，器件性能好，可靠性高 |
部分厂家采用小功率MOSFET单管并联方式,器件数量多，耐冲击能力低，维修维护困难 |
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整流器件 |
采用进口大功率快恢复二极管，单管额定电流达60A，输出整流单元电路简洁，抗过流能力强。 |
由多级快恢复二极管组成，输出整流单元布置复杂，抗过流能力弱。 |
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主变压器 |
主变压器铁芯采用纳米晶铁磁材料，励磁电流小，磁性能优异，损耗小。 |
主变压器铁芯采用铁氧体材料，励磁电流大。 |
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内部结构 |
散热器按照镀膜电源特点设计，功率及控制回路经过反复优化改进，内部结构简洁、整齐。 |
器件选型等因素导致内部连线复杂。维护检修困难。 |
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防腐防尘 |
控制板件均采取防护措施，防腐能力强。 |
防护措施简单，防腐能力较弱。 |
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冷却系统 |
水冷或强迫风冷可选 |
只可以提供一种冷却方式 |
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保护功能 |
采用独特的双过流保护措施，确保电源快速保护；增加过热保护功能增强了电源运行的可靠性。 |
保护功能不全，对于电源运行中发生的异常状态不能提供及时保护。 |
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控制功能 |
配置了计算机控制系统，易于按客户要求配置自动控制扩展功能，提高了电源使用效率；配置了液晶屏，各种参数显示齐全，便于用户分析炉体内部工况。 |
模拟显示基本参数。 |
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维修维护 |
功能控制板模块化，采用插拔式连接，易于检修维护计更换，通过简易培训用户可自行维护。 |
焊接连接方式多，主体结构分层式布置，检修困难，非专行专业人员无法维修。 |
此外，昊源镀膜电源还采用了一些可显著提高电源性能、改善操控性能的技术措施，包括双重灭弧技术、打弧次数自动计数技术及脉冲电位器技术。双重灭弧技术是指系统在二级逆变电路中分别设置了灭弧电路，灭弧效率大大提高。自动记录打弧次数有利于用户分析镀膜效果，采用脉冲电位器则大大提高了器件操作的寿命及操作便利性。
中山宝辰/中山昊源 13680291588刘生