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PECVD等离子体增强气相沉积-上海添时科学仪器有限公司
1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点：
•射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；
•齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;
•4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;
•炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。
1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数：
工作电源：
•输入电压：AC208-220V，50/60Hz
•总功率：<4KW
加热炉参数：
•最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃;
•两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;
•工作电压：110V；
•额定功率：1.5KW；
•回转炉旋转速度：0-5rpm。
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