物粉末包覆

THEIA 是一款高能，稳定，灵活，可靠且安全的研发型原子层沉积系统，兼具工业生产解决方案的优势。THEIA 可进行升级改造，从而满足科学研究的各种需求，并实现从“研发”到“生产”的无缝衔接。
产品规格【物粉末包覆】
1. SMFD-ALDTM 超快沉积：12-30 nm/min
2. 低维护周期：平均每 50 μm 沉积后维护一次
3. 阀门：可实现<1ms 开关控制，寿命可达 1 亿次循环，在 220℃ 下长期稳定工作
4. 薄膜不均匀度<1%
5. 可容纳 3 片 75-300mm 基片，300×300×10mm 的腔室
产品特点
THEIA 解决了困扰 ALD 工艺多年以来的问题：效率与供了新的参考标准。
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