P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ最大370μm 的高速扫描,最大通光孔径为Ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
特:
• 最大位移370μm
• 最大承载3.5kg
• 通孔直径:Ø35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定的应用需求。
典型应用
• 闭环重复定精度高 • 响应速度快
• 图像处理与稳定 • 扫描显微
• 干涉/计量 • 表面检测
• 半导体测量 • 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠压电陶瓷驱动,可以 实现最大370μm的扫描范围,运动直线好,可选择闭环版 本获得优异的线度与重复定精度。
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