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整合型LED晶粒/晶圆点测机裸晶测试仪
型号：APT 6000
标准配备
1.机构部分：
X、Y、Z、θ轴(精度详见规格)
Chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）
XYZ 调整座 2 座
Edge Sensor 2 座
彩色CCD 1组，1倍镜头，供扫描定点用、供探针定点、外观检视用
掀开式遮光罩
电控箱
分光卡：350nm-1050nm
选配部分：
清针模块 (毛刷 & 贴片 & 吹气)
l 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数
ESD 模块：HBM/MM ± 4 KV
l Relay 寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)
2.测试机部份
电源供应器：SF
3.IPC 部分
中央处理器：双核心 CPU G3420 3.2 GHz
存储器：4G
硬盘：500G
17”LCD或以上荧幕、光学鼠标、键盘
作业系统 : Win 7
l 通用规范.
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项目 |
描述说明 |
规格 |
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工作面积 |
2~7.8英寸 |
198mm |
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卡盘 |
平面化 |
±0.01 mm |
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X 轴 |
最大行程 |
200 mm |
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分辨率 |
0.5 μm |
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精度 |
< 10 μm over 100 mm |
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Y 轴 |
最大行程 |
300 mm |
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分辨率 |
0.5 μm |
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精度 |
< 10 μm over 100 mm |
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Z 轴 |
最大行程 |
8 mm |
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分辨率 |
1.2 μm |
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精度 |
< 5 μm over 30 mm |
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θ axis |
轴旋转范围 |
± 30° |
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分辨率 |
0.0018° |
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精度 |
< 10 μm over 160 mm |
