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UV光解氧化反应机理 ：在波长范围170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外线的照射作用下，一方面空气中的氧气被裂解，产生的氧原子和氧气分子了组合产生臭氧（见反应①、②）；另一方面将恶臭气体的化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团（见反应③）；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使恶臭气体最终被裂解、氧化生成简单的稳定的化合物，如CO2、H2O、SO2、N2等（见反应④）。
注：
1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低，也就是光能量必须高于恶臭气体分子键键能。 2、裂解反应的时间极短（＜0.01s），氧化反应（见反应④）的时间需2-3s。
UV光解除臭设备原理
脂肪族氧化机理：
UV光解除臭设备中采用特定波长紫外光激发光催化触媒材料（TiO2）所生成的OH. 具有强氧化作用，将脂肪族氧化为醇，进一步氧化为醛、酸，最后脱羧生成二氧化碳，整个过程可描述如下：
R–CH2 CH3R–CH2 CH2 OH RCH2 CHORCH2 COOHR–CH3 +CO2RCH2 OHRCHOR–COOH
每降解一个碳原子，生成一个CO2，重复循环，直到脂肪族完全转化为CO2为止。
芳香族氧化机理：
UV光解除臭设备激发的特定波长紫外光激发催化触媒材料（TiO2）所生成的OH. 和H+使苯环羟基化，生成羟基环已二烯自由基，进而开环生成已二烯二醛，再按脂肪族氧化途径降解，生成CO2和水。
无机气体氧化机理：H2S+O2 2S+SH2O 4NH3+3O2 2N2+6H2O
所以，利用光催化触媒材料（TiO2）的光化作用，可以使接触光催化剂的水份、臭气、细菌、污物等有机成份都被分解，从而具有除臭、抗菌、防污、防雾的功能。
综上所述，UV光解除臭设备是采用紫外线的分解、触媒材料（TiO2）的光化作用以及臭氧的进行除臭，能对大部分有机废气起到净化作用。UV光解除臭设备适合于食品加工厂、肉类加工厂、屠宰场、家禽饲料场、造纸厂、污水处理厂、垃圾转运站、粪便处理等有机和无机物恶臭气体的除臭净化处理。
UV光解除臭设备在治理恶臭废气治理中的起着不可替代的作用，恶臭气体是指挥发性物质分子在空气中扩散，被吸入人体的嗅觉器官而引起不愉快的气体。恶臭物质存在于水体、固体废物和大气中，在这些恶臭物质中对人体危害比较大的主要有硫化氢、氨、硫醇类、甲基硫、三甲胺、甲醛、铬硫、苯乙烯、酚类等。具体的说，恶臭的来源有以下几个方面：工业恶臭、农牧业恶臭、城市公共设施恶臭、燃料燃烧恶臭、餐饮油烟恶臭、机动车废气恶臭、恶臭化学物质。利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。利用高能UV光束裂解工业废气中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到净化及杀灭细菌的目的
