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清代赵翼所写的《陔余丛考》中说到：“《北齐书》的〈慕容俨传〉有记：“城中有神祠一所，俗号城隍神，公私每有祈祷。”可见在南北朝时代，民间就有了城隍爷的祭祀行为了。
到了唐代以后，城隍已渐变成冥神，并具人格化了，祭祀城隍神更为普遍了，韩愈、李商稳、张说、张九龄、杜牧等文人都有撰祭城隍的文章，主为祈雨、禳灾的祭祀行为。
五代的唐愍帝清泰年间，城隍爷地位更高了，被封为王爵，各地尊称为“城隍爷”。 到了宋代城隍信仰已是民间非常普遍的信仰了。
元代文宗天历年间，朝廷让城隍爷配享夫人
唐代信仰城隍神已成习俗，以致“水旱疾疫必祷焉”⑥五代十国时期，城隍神已有封号。据《册府元龟》卷三十四《帝王部崇祀三》载：后唐末帝清泰元年（934）诏杭州护国庙，改封崇德王，城隍神改封顺义保宁王，湖州城隍神封阜俗安成王，越州城隍神封兴德保闉王。汉隐帝干佑三年（950）海贼攻蒙州，州人祷于神，城得不陷，故封蒙州城隍神为灵感王
宋代城隍神信仰已纳入国家祀典。据《宋史·礼志八》载：自开宝、皇佑以来，凡天下名在地志，功及生民，宫观陵庙，名山大川，能兴云雨者，并加崇饰，增入祀典，州县城隍，祷祈感应，封赐之多，不能尽录。宋赵与时《宾退录》谓宋代城隍：“今其祀几遍天下，朝家或赐庙额，或颁封爵，未命者或袭邻郡之称，或承流俗所传，郡异而县不同”⑦赵与时还就闻见所及，列举有庙额封爵的城隍神达数十个之多
元朝继承宋的祀典。元世祖至元五年（1268）上都建城隍庙。至元四年，兴建大都。至元七年，大都城建成，立城隍神庙，设象而祠之，封曰佑圣王。元虞集《大都城隍庙碑》曰：“自内廷至于百官庶人，水旱疾疫之祷，莫不宗礼之”⑧元文宗天历二年（1329）加封大都城
到明代时，明太祖对城隍特别崇敬，曾亲诏刘三吾：“朕设京师城隍，俾统各府州县之神，以鉴察民之善恶而福祸之，俾幽明举，不能幸免。”明太祖更册封京都、府、州、县四级城隍，各级城隍神都有不同爵位和服饰，各地官员需定期主祭。及至清代，祭城隍同样列入祀典，城隍的地位更崇高。但凡新官到任前需到城隍庙斋宿；上任日，更需在城隍前完成祭礼才能就任。由此观之，城隍的职能随时代变迁，已由起初有求必应的神明转变为地位超然的国家和地方守护神。
“城隍”这个名词最早的文献记载，可以追溯到《周易．泰封》：“城复于隍，勿用师”；《易经》中又言：“城复于隍，其命乱也”，在这里所说的“城”是指“城廓”、“城壁”、“城墙”，“隍”则是“城堑”，指城外护城的壕沟，也就是指“护城河”，“城隍”的意义就是防守城池的护城河。其意是指如果城墙倾覆时，是为乱兆，为政者应应息武止戈，不可穷兵牍武。
