电子制造业厂万级洁净室厂房特点:
洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。
●电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)
●电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。
●电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa
● 电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值:
● 补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。
● 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。
合昌--万级无尘室的标准
万级无尘室标准是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室标准可分为两大类:一是按用途分类,二是按气流流型分类。
一、按用途分类:
1.工业无尘室---主要控制无生命微粒对工作对象的污染,其内部一般保持正压,它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。
2.生物无尘室---以有生命微粒的控制为对象,又可分为:一般生物无尘室,主要控制有生命微粒对工作对象的污染。生物安全无尘车间主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染,不同的是室内要求静压比周围环境低一定数值,用于研究实验设施实验室和生物工程。生物无尘室与一般工业的无尘室本质是一样的,不同的是生物无尘室对细菌的含量要有控制。
二、按气流流型分类:气流流型就是气流轨迹的形式。
1.单向流无尘室
2.非单向流无尘室
3.混合流无尘室
4.辐流无尘室
东莞合昌----百级洁净室
百级洁净室一般适用于层流式空气气流,层流式空气气流运动成一均匀直线形,空气过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。百级洁净室的型式可分为2种:
(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可达到要求,稳定运转。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)垂直层流式:空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。