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真空蒸发镀膜设备的零部件的表面清洗处理是很有必要的；而且存在杂质的情况下，真空部件的链接和密闭性都有受到影响。
污染物杂质对真空完全是一种无用的物质，多弧离子镀膜机会根据杂质的状态将其分为固态杂质、气态杂质以及液体杂质，它们微粒的形式存在。从化学的角度看，既可以是离子的也可以是共价的，既是有机的也可以是无机的。
显露的外面的表层最容易被污染到，被污染的情况有很多种，一开始一般是由本身运转形成的。
要注意表层吸附、化学作用、清洁和晾干等过程、机械在各种运作过程中都有可能产生污渍使表面污染物增加。
前期开始注意机器的保养与清洁可以减少后期的很多麻烦，防止溅控溅射镀膜机各类小状况的发生，可提高工作效率、真空镀膜机镀膜的质量也起到相当重要的作用。
真空镀膜设备与传统的电镀法相比,真空镀膜技术具有很多的优点,如装饰效果好,金属感强,成本低,污染小,真空蒸发镀膜机易于操作等。特别在非金属物件的应用上,有着传统电镀无法比拟的优势。鉴于此,真空镀膜已被广泛应用于各种塑料、陶瓷、玻璃、蜡、木材等制品的表面金属化上。
真空镀膜设备真空镀膜机的优点主要表现在：
一、改善美观，表面光滑，金属光泽彩色化，装饰性大大提高；
二、改善表面硬度，原塑胶表面比金属软而易受损害，通过溅控溅射镀膜机，硬度及耐磨性大大增加；
三、提高耐候性，一般塑料在室外老化很快，主要原因是紫外线照射所致，而镀铝后，铝对紫外线反射最强，因此，耐候性大大提高；
四、减少吸水率，镀膜次数愈多，针孔愈少，吸水率降低，制品不易变形，提高耐热性；
五、使塑料表面有导电性；
