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超硬膜镀膜机一般采用中频多弧离子镀膜方式镀膜。离子镀技术适用于沉积硬质薄膜。离子镀硬质耐磨镀层作为超硬抗磨损保护膜广泛应用于手表、表带、钟表、刀具、模具、钻头、铣刀、齿轮刀具、拉刀、剪刀、刮面刀片、丝锥、螺母、抗磨零件（汽车耐磨件及医疗器械等）。常用膜系包括TiN、ZrN、HfN、TiAlN、TiC、TiCN、CrN、 Al2O3等，更适用于更坚硬的类金刚石DLC、TiB2和碳氮CNx膜。
这些硬质层大大提高了工模具的抗磨损能力，有效延长了使用寿命，降低了生产成本，提高了加工精度。
pvd真空镀膜机的使用注意事项：
一、开机要先检查水路的畅通性，确定冷却塔、真空泵是否正常工作，检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作。
二、要确定真空室内的膜料、离子源灯丝、工件架是否按要求放置。
三、工艺完成后要关闭电子枪和离子源等开关，待真空镀膜设备冷却一消失后方可关闭电源。
四、未经允许不可开店电柜、真空室的屏蔽门。
当扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作：
具体方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。
