佛山市佛欣真空技术(设备)有限公司公司拥有二十几年设备制造经验,公司骨干曾是国内第一批钛金设备制造商,为广大企业提供优质的表面处理工艺,并取得良好口碑。
公司自创立以来,坚持“技术创新,质量第一,用户至上”的宗旨,经过孜孜以求,锲而不舍的努力,深得各界人士的大力支持和用户青睐,并在创新中不断壮大与发展,业务蒸蒸日上。为适应日新月异的科技进步需求,满足生产发展的需求,公司通过外引内培的方式,拥有了一批业内资深技术、生产销售和品管理的精英。为客户的利益保驾护航,让客户获得最大价值
![](http://zs1.img-1.com/pic/100260/chanpin001/20150709161127_1106_zs.jpg)
操作程序编辑三:
? 旋转发射调节钮“4”,使高压真空表“5”内指针指向5。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。? 旋转零点调节钮“10”,让高压真空表“5”内指针指向0位置。? 发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。? 旋转标准调节钮“3”,让高压真空表“5”内指针指向10。? 旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12,当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时,再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。? 当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6.7Pa时,开工件旋转钮开关,钟罩内被镀件PVDF膜转动。? 开蒸发钮开关。把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内(设有1、 2、 3、 4孔,可插入任意一孔)。? 右手旋转右侧调压器手轮,慢慢旋转升压。
辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成
排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。
机械泵:也叫前级泵,机械泵是应用最广泛的一种低真空泵,它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
机械泵有很多种,常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用最广泛,本文主要介绍)四种类型。
机械泵常常被用来抽除干燥的空气,但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体,机械泵一般被用来抽除永久性的气体,但是对水气没有好的效果,所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等,转子在定子里面但与定子不同心轴,象两个内切圆,转子槽内装有两片弹片,两弹片中间装有弹簧,保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。
![](http://zs1.img-1.com/pic/100260/chanpin001/20150709161110_1146_zs.jpg)