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分子泵的保养与维修分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用,特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知,分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高,所以分子泵的保养显得十分重要,能够自己维修的话,可以节约大量的成本,降低维修成本。
驱动马达的检查可以用两种方法,一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。 带驱动单元TCP的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的,所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。
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在許多應用中,渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。隻是簡單地一按電鈕,泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽,可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除瞭這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小,而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝(用油潤滑的泵除外,它隻能在垂直 5 范圍內工作)。這個特點,可用於安裝位置受限制的地方。
渦輪分子泵可不用任何阱,按操作規程工作,就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境,且不含有任何碳氫化合物。由於現代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的瞭,對於小泵多用油脂潤滑,也有用空氣軸承的,但磁懸浮軸承用得較多。