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原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极，每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚。 
广州帕纳光电科技有限公司专业供应 Pfeiffer TMH064－－Pfeiffer TMH064分子泵是德国普发公司早期的高速涡轮分子泵，其转速为90000rpm, 帕纳光电特价供应全新德国普发分子泵，同时也提供二手分子泵给对价格比较敏感的客户，
由于目前对真空镀膜设备的清洁度，镀膜层的质量，所用材料等要求的不断提高，传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因，已经无法满足使用要求。因此，以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在全球分子泵领域一直处于主导地位。
