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原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极，每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚。 对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。
涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成， 重量最小化， 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整?
整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力，可靠性极高。
免维护的陶瓷轴承， 无油，无污染， 平均无故障时间大大增加
