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由于目前对真空镀膜设备的清洁度，镀膜层的质量，所用材料等要求的不断提高，传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因，已经无法满足使用要求。因此，以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在全球分子泵领域一直处于主导地位。
德国莱宝leybold Turbovac 1100C涡轮分子泵简称为Leybold TMP1100C,帕纳光电专业维修Leybold TMP1100C分子泵。 Oerlikon Leybold TMP1100C turbo pump是德国为镀膜行业设计的，转速为30000rpm, 又称为Leybold Turbovac 1100,
涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成， 重量最小化， 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而无需任何调整?
整体化设计降低了作用在材料和轴承上的压力，可靠性极高。
免维护的陶瓷轴承， 无油，无污染， 平均无故障时间大大增加
