由于目前对真空镀膜设备的清洁度,镀膜层的质量,所用材料等要求的不断提高,传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因,已经无法满足使用要求。因此,以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在全球分子泵领域一直处于主导地位。
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发展。涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴
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由于目前对真空镀膜设备的清洁度,镀膜层的质量,所用材料等要求的不断提高,传统的以油扩散泵为主的真空系统因油蒸汽污染的原因,已经无法满足使用要求。因此,以分子泵为主的无油真空镀膜系统已逐渐成为市场的主流。Pfeiffer 分子泵依靠自身过硬技术在全球分子泵领域一直处于主导地位。