![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/fenzibeng/20150408225412_0459_zs_sy.jpg)
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加速器需要用到高真空系统,干泵配备涡轮分子泵特别适合清洁无油的环境要求
需要配备分子泵的原因:1.电子加速运动的需要;2.电子枪正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空)
![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/fenzibeng/20150408225412_0459_zs_sy.jpg)
在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏
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![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/BOCewards/20150426162001_5205_zs_sy.jpg)
加速器需要用到高真空系统,干泵配备涡轮分子泵特别适合清洁无油的环境要求
需要配备分子泵的原因:1.电子加速运动的需要;2.电子枪正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空)
在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏