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涡轮分子泵维修,复合分子泵维修,磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作,同时必须借助专门的分子泵维修和检测设备。
氦质谱检漏仪就是分子泵维修检测必须的设备之一。
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在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏
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涡轮分子泵维修,复合分子泵维修,磁悬浮分子泵维修是项非常细致的工作,同时必须借助专门的分子泵维修和检测设备。
氦质谱检漏仪就是分子泵维修检测必须的设备之一。
在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏