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Pfeiffer 真空泵使用特点
德国普发Pfeiffer旋片泵+罗茨泵组+分子泵为最佳组合,旋片泵作为前级泵,抽速稳定,噪音低;罗茨泵真空腔室为无油泵,无需冷却水,有气体安全阀,防止抽气量过大前级旋片泵来不及抽导致的损坏;Pfeiffer分子泵为无油泵,从而保持真空腔室内的清洁,不会反油到腔室内,导致工件污染。
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加速器需要用到高真空系统,干泵配备涡轮分子泵特别适合清洁无油的环境要求
需要配备分子泵的原因:1.电子加速运动的需要;2.电子枪正常工作的需要;3.加速管微波电场的需要(避免加速管中出现微波打火,必须抽到高真空)