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涡轮分子泵工作转数的选择,一般都高于一阶临界转数,所以起动和停机都要经过一阶临界转数,因此会引起泵瞬间的振动。为了消除这个影响,在设计传动系统时,主轴的轴承常用螺旋弹簧或蝶簧支撑下轴承外圈消除轴承间隙以防滑动。弹力一般为2~4kg。为了消振,在轴承外加橡胶阻尼环。
发展。涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴
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该泵的高真空级为涡轮式叶片,低真空级为牵引式螺旋槽抽气机构。叶轮叶片为平面的二维形状。涡轮叶片的外径比较小,约为100~300mm,当然还有更大的。与支撑叶片的转筒做成一个整体其转动惯量较大(约0.02kgm2)。
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