在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏