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在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏
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Pfeiffer 真空泵使用特点
德国普发Pfeiffer旋片泵+罗茨泵组+分子泵为最佳组合,旋片泵作为前级泵,抽速稳定,噪音低;罗茨泵真空腔室为无油泵,无需冷却水,有气体安全阀,防止抽气量过大前级旋片泵来不及抽导致的损坏;Pfeiffer分子泵为无油泵,从而保持真空腔室内的清洁,不会反油到腔室内,导致工件污染。
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