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在抽吸反应性气体时，气体在泵内遭到压缩、压力增高，若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低，其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中，这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下，运动的叶片就会遭到损坏
Varian TV551分子泵，又称为 Varian Turbo-V 551分子泵，是意大利瓦里安经典之作，帕纳光电科技有限公司专业维修Varian TV551涡轮分子泵，Varian Turbo-V 551涡轮分子泵的转速为42000rpm
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