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在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏
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发展。涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴
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在抽吸反应性气体时,气体在泵内遭到压缩、压力增高,若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低,其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中,这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下,运动的叶片就会遭到损坏