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在抽吸反应性气体时，气体在泵内遭到压缩、压力增高，若残余气体成分中水分增加或气体温度遇冷处降低，其固体生成物会在泵内的间隙处堆积。在转子高速旋转过程中，这些堆积的固体生成物会与回转体的部分或接触或粘结其上。在这种情况下，运动的叶片就会遭到损坏
.加速器需要用到高真空系统，干泵配备涡轮分子泵特别适合清洁无油的环境要求
需要配备分子泵的原因：1.电子加速运动的需要；2.电子枪正常工作的需要；3.加速管微波电场的需要（避免加速管中出现微波打火，必须抽到高真空）
原理：玻璃垂直放置在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通入适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在与阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。为了形成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。为了取得多层膜，必须使用多个阴极，每一个阴极均是在玻璃表面来回移动，形成一定的膜厚。
