![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/fenzibeng/20150408225412_0459_zs_sy.jpg)
转子的上下两级抽气单元制成一体的转子圆筒。泵的转速为20000~90000r/min。转子叶片顶端的圆周速度约为250~300m/s。因为转子叶片的速度越高则泵的性能越好。但是,受到转子圆筒的材料强度限制,一般常采用比强度高的铝合金或钛合金作转子圆筒,而泵壳则用不锈钢或铝合金制作。这种泵的特点是级数多,转速高、间隙小、精度高。
![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/fenzibeng/20150408225412_0459_zs_sy.jpg)
![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/varian/20140212202959_6007_zs.bmp)
VARIAN TV551涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体,并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。帕纳光电秉承'专心专业全心全意尽善尽美',竭诚为光学镀膜行业,光磁存储行业,半导体生产行业,平板及光电显示器行业,分析仪器及科研行业提供优质的瓦里安Varian TV551分子泵维修服务。
![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/fenzibeng/20150408225412_0459_zs_sy.jpg)
![](http://zs1.img-1.com/pic/73667/pfeiffer/20150426163749_3796_zs_sy.jpg)
Pfeiffer 分子泵优点:
? 多抽速供客户选择,抽速为1,000至2,000L/S
? 对于H2,He和Ar,CF4有高的抽速
? 安装位置从0到90度,90到180度
? 高的气体流通量,即使是Ar,CF4
? 集成的TC 1200驱动单元可直接连接电源
? 抗腐蚀能力供选择
? 丰富的接口界面:RS-485以及远程控制;profibus或者Devicenet可供选择
? 拥有IP 54和Semi S2 等级
? 稳定安全的转子轴承系统
? 符合UL,CSA以及TUV认证
? 简单的安装