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转子的上下两级抽气单元制成一体的转子圆筒。泵的转速为20000~90000r/min。转子叶片顶端的圆周速度约为250~300m/s。因为转子叶片的速度越高则泵的性能越好。但是,受到转子圆筒的材料强度限制,一般常采用比强度高的铝合金或钛合金作转子圆筒,而泵壳则用不锈钢或铝合金制作。这种泵的特点是级数多,转速高、间隙小、精度高。
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分子泵机组 TSH/U 071 应用领域:
1. 质谱显微镜 2. 检测装置生产 3. 微天平 4. 溅射或者蒸镀设备
5. 表面物理 6. 实验室应用