应用金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)电子回旋共振(ECR)刻蚀薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD溅射离子注入源,射束线泵送端点站MBE扩散光致抗蚀剂脱模晶体/晶膜生长晶片检查负载锁真空腔科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜高能物理:射束线、加速器放射线应用:融合系统、回旋功能和优势
图片中的是Leybold TW250
Leybold TW250大量应用于光盘生产线和小型镀膜生产线,复合型转子,对前置真空要求较低,转速51600rpm
广州帕纳光电有大量TW250备件,紧急时能提供24小时快速服务
德国莱宝涡轮分子泵LEYBOLD TW250