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真空泵的冷却方式如下:
1、通过真空泵及油分离器表面散热。
2、通过驱动电机的风扇轮散热。
3、通过工艺气体。
4、通过来自真空泵轴上的风扇的气流。
优点:
l 建构紧凑;
l 高强度设计,运行稳定性高;实现了无工艺污染,低噪音及低振动。
l 转速可调从而优化工艺过程。
l 任意角度安装。
l 可以提高抽速,并允许非常高的排气压力,大大降低了对前级泵的要求,节约了前级泵的成本。
应用于 玻璃镀膜、溅射镀膜、太阳能光伏、 平板显示器、研发等多个行业。
真空泵的冷却方式如下:
1、通过真空泵及油分离器表面散热。
2、通过驱动电机的风扇轮散热。
3、通过工艺气体。
4、通过来自真空泵轴上的风扇的气流。
优点:
l 建构紧凑;
l 高强度设计,运行稳定性高;实现了无工艺污染,低噪音及低振动。
l 转速可调从而优化工艺过程。
l 任意角度安装。
l 可以提高抽速,并允许非常高的排气压力,大大降低了对前级泵的要求,节约了前级泵的成本。
应用于 玻璃镀膜、溅射镀膜、太阳能光伏、 平板显示器、研发等多个行业。