Leybold TMP360/TMP361/TMP361C是Leybold最经典的产品之一,在清洁环境下,油式润滑的TMP360,寿命基本上超过10年
STP-iX455涡轮分子泵具有创新性磁力轴承和电机驱动系统,与上一代涡轮泵相比将振动降低了50%。采用集成的控制器,不需要使用传统的安装于机架上的控制器及互连电缆,不需要水冷却。
此泵的氮气抽速为450 ls-1。STP-iX455极为适合电子显微镜、度量学、光刻和其他对振动敏感的应用。
应用金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)电子回旋共振(ECR)刻蚀薄膜沉积CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD溅射离子注入源,射束线泵送端点站MBE扩散光致抗蚀剂脱模晶体/晶膜生长晶片检查负载锁真空腔科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜高能物理:射束线、加速器放射线应用:融合系统、回旋功能和优势