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阿尔卡特高真空技术有限公司生产的复合式分子泵。该产品具有抽速大,处理气体流量能力强,稳定性高等特点,且使用方便。
优点:
l 建构紧凑;
l 高强度设计,运行稳定性高;实现了无工艺污染,低噪音及低振动。
l 转速可调从而优化工艺过程。
l 任意角度安装。
l 可以提高抽速,并允许非常高的排气压力,大大降低了对前级泵的要求,节约了前级泵的成本。
应用于 玻璃镀膜、溅射镀膜、太阳能光伏、 平板显示器、研发等多个行业。
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阿尔卡特高真空技术有限公司生产的复合式分子泵。该产品具有抽速大,处理气体流量能力强,稳定性高等特点,且使用方便。
优点:
l 建构紧凑;
l 高强度设计,运行稳定性高;实现了无工艺污染,低噪音及低振动。
l 转速可调从而优化工艺过程。
l 任意角度安装。
l 可以提高抽速,并允许非常高的排气压力,大大降低了对前级泵的要求,节约了前级泵的成本。
应用于 玻璃镀膜、溅射镀膜、太阳能光伏、 平板显示器、研发等多个行业。