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性能和特性
泵的排气压力与进气压力之比称为紧缩比。紧缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体品种有关。分子量大的气体有高的紧缩比。对氮(或空气)的紧缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1~10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米3)。涡轮分子泵必需在分子流状态(气体分子的均匀自在程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才干显现出它的优越性,因而请求配有工作压力为1~10-2帕的前级真空泵。分子泵自身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。
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