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涡轮分子泵的结构型式与工作原理:
涡轮分子泵在结构上有立式和卧式之分,涡轮分子泵的工作原理很简单。当气体分子以VP1 碰撞到运转速度为VB(400 m/s)的表面上,就会被携带转向到叶片的运动方向上如VP2。典型的涡轮分子泵是在分子流范围内工作的。入口压力可以1×10- 3 Torr 延至10- 11 Torr。涡轮分子泵叶片在非常高的速度下,使气体分子被连续不断地折射,转向和压缩,气体分子被叶列压缩到前级侧后被前级泵排出。典型的前级泵多为小型的油封式旋片泵或干式机械泵。
泵中的这种旋转的涡轮叶列称为转子,被装在由轴承支撑的轴上。两个转子叶片圆盘之间有静止的涡轮叶片称作定子。它安装在泵壳内,每一对转子和定子构成一级压缩。气体分子通过泵的入口经多级叶列压缩后排到出口处,多级压缩可有很高的压缩比,故在入口处可获得非常低的压力(非常高的真空度)。
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