这种泵具体可分为:1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
牵引分子泵是气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口的一种动量传输泵。
工作原理:
牵引分子泵的泵腔内有可旋转的转子,转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子泵,后一级的入口与前一级的出口相连。转子与泵壳之间有0.01mm的间隙。气体分子由入口进入泵腔,被转子携带到出口侧,经排气管道由前级泵抽走。牵引分子泵的优点是起动时间短,在分子流态下有很高的压缩比,能抽除各种气体和蒸汽,特别适于抽除较重的气体。