PFEIFFER 普发真空分子泵TMH261YP PM P03 530
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TIC250
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TCP015
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TW250
PFEIFFER TCP 600 TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP CONTROLLER
PFEIFFER TC600 TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP DRIVER
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TCP121
PFEIFFER 德国普发真空分子泵 VACUUM TCP380 POWER LOAD LOCK TURBO CONTROLLER
Pfeiffer TCP 600 TURBO Pump Controller
Pfeiffer TC 600 ,TCP 380, TCP 121, TCP 035, TCP 015, DCU 200
BALZERS VACUUM IMG300 IMG 300 INFIConGAUGE CONTROLLER
PFEIFFER-BALZERS: TCP-040, TCP-120, TCP-121, TCP-300, TCP-310, TCP-380,
分子泵油量 4.3.1.1分子泵油量应处于油标上下限之限之间,不得低于油标下限,以保证轴承的良 好润滑,油标为红色标志线。 4.3.1.2分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油。润滑油应洁 净,严禁污物,杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。 4.3.1.3更换润滑油时,油池应清洗干净:第一次使用时,泵工作1000小时后,即应更 换;正常工作后。每工作4000小时即应更换,即使工作时间不足4000小时,一年内至少更换一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体,润滑油充注及更新时间间隔应缩短。