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分子泵油量 4.3.1.1分子泵油量应处于油标上下限之限之间，不得低于油标下限，以保证轴承的良 好润滑，油标为红色标志线。 4.3.1.2分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油。润滑油应洁 净，严禁污物，杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。 4.3.1.3更换润滑油时，油池应清洗干净：第一次使用时，泵工作1000小时后，即应更 换；正常工作后。每工作4000小时即应更换，即使工作时间不足4000小时，一年内至少更换一次。如果泵经常烘烤或大负载工作或抽除侵蚀性气体，润滑油充注及更新时间间隔应缩短。
泵污染 4.3.2.1泵污染的标志是即使漏气和脱附气率没有长时间变化，甚至长时间烘烤也不能恢复其真空性能，这时应对泵进行清洗，清洗需由专业技术人员处理，严禁不经培训而私自拆泵。
冲击防护：分子泵是高旋转机械，动静片间间隙很小，不能抗过大的冲击。
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