研究所用分子泵|帕纳光电(图)|真空镀膜分子

在涡轮分子泵的前级侧充气，能强制使碳氢化合物立刻通过涡轮分子泵流入真空室。另一方面，若在涡轮分子泵吸入侧充气，能达到以清洁气体覆盖表面的目的。并使气流流向涡轮分子泵（自上而下），能暂时阻止、延迟碳氢化合物的返流，也有些涡轮分子泵在压缩级之间进行中间充气，它和在吸入侧充气控制碳氢化合物返流几乎同样有效。在超高真空系统中，在压缩级充气尤其优越。因为中间充气不需要价格昂贵的金属密封的可烘烤的充气阀。

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分子增压泵是一种新型的高真空泵，它最大的优点是清洁、节能，中真空具有超强的抽气能力，清洁真空。各种类型的真空泵由于工作机理和结构的不同所获得的真空质量是不一样的，可以分为无油真空，清洁真空和普通真空。无油真空即无任何油蒸汽污染的真空，是真空质量的最高境界，低温泵、离子泵以及各类干式泵可以实现无油真空。清洁真空不是绝对无油，而是真空中的油蒸汽分压可以降到极低的水平，从而使真空质量得到很大的提升。