延迟充气也能使阀门有足够的时间关闭,在经常停电的情况下,延迟充气是很有用的。为了延迟充气, 前级真空必须维持在1 ~1000 mHg (1 10- 3 mmHg ~1 mmHg 或133.3 mPa~133.3 Pa)范围之内,所以在涡轮分子泵与前级泵之间必须有一个真空阀,或者在前级泵内部装一个控制阀,该阀应在电源中断时,使涡轮分子泵与前级泵隔离开来。否则,通过前级泵、前级管道被充气,并导致了油的污染。
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最好等待质谱腔内气压恢复至常压后拆下真空系统与质谱腔体之间的连接管路。注意:如果质谱刚关机内部有负压,一定要先从机械泵与质谱联接的波纹管拆开,将气压恢复至常压后才能拆下连接部件,否则有可能将连接部件的O型圈吸入质谱腔体或分子泵,我们在拆卸时出现过这个问题。