大专院校用分子泵|帕纳光电|半导体专用分子泵

前级管道设安全阀 ：

  如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀，就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时，前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油，之后通过涡轮分子泵进入真空室，这种现象称为油污染，被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。

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一个涡轮分子泵（TMP）的是一个多阶段轴流式水轮机高速旋转的叶片提供通过增加压缩气体分子的概率在泵送方向移动。 “涡轮分子泵分子流条件和优化需要一个适当大小的两个阶段的旋转叶片泵或无油滚动泵排气气氛。

复合分子泵（CMP）的概念是基于结合分子拖动阶段刀片涡轮阶段在同一转子。这种设计允许：

?高临界前级压力（通常可达10 mbar的） ?选择使用较小的前级泵，或干膜片支持泵。

抽气速率（体积流量），是由转子直径，入口法兰尺寸和转速。抽速在高入口压力降低值的大小决定支持泵。

由于进气压力上升，电机功率耗散和泵温度升高。最大连续进口压力设置稳态的最大吞吐量限制抽水取决于用于冷却的方法。以上这种压力，旋转泵的转速降低温度传感器限制泵权力。随着水冷泵，实际最大吞吐量取决于支持泵的大小。