前级管道设安全阀 :
如果不采用一个操作合理的前级管道安全阀,就有可能即污染涡轮分子泵又污染真空室。当前级泵断电停车时,前级泵就会给自己充气反向通到涡轮分子泵的排气口。这种前级泵充气会输送前级管道返流的泵油,之后通过涡轮分子泵进入真空室,这种现象称为油污染,被污染后涡轮分子泵的叶片就必须在厂家的指导下用氟利昂来清洗。
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随着国产分子泵生产工艺的日臻成熟和生产单位的日益增多,近耒,有些分子泵生产单位试图将(一种通常是用于高真空乃至超高真空领域的)分子泵用在荧光灯园排车的真空系统中,希望提高荧光灯的真空质量。
影响一台真空设备(如:园排车)以及封离后电真空器件内真空度的要素有两个方面: ①抽气手段:如真空泵、吸气剂等;
②气体来源:如漏气、放气、蒸发、渗透、分解等。
因而,电真空器件生产中遇到的某些情况可以用不同的真空方程来描述。例如:从排气台上封离下耒的“行波管”(管内不装吸气剂),真空度随时间的变化情况可用“静态真空方程”来描述;从排气台上封离下耒的显像管(管内装有吸气剂),真空度随时间的变化情况可用“准静态真空方程”来描述。