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超声波脱脂是利用超声波振荡的机械能使脱脂液中产生数以万计的小气泡，这些小气泡在形成生长和闭合时产生强大的机械力，使零件表面沾附的油脂、污垢迅速脱离，从而加速脱脂过程。使脱脂更彻底。超声波可应用于溶剂脱脂、化学脱脂、电化学脱脂和酸洗等。一步或分步达到除脂（抛光膏、油污、蜡）、除锈、除膜（挂灰、浮渣、污膜）等效果。超声波脱脂溶液的温度和浓度都比相应的脱脂液低。因为温度和浓度过高都将阻碍超声波的传播，降低脱脂能力。使用超声波可降低脱脂液的温度和浓度，节约能源，保护基体金属免受腐蚀，防止阴极电解脱脂造成的渗氢。超声波脱脂液并不是简单地把原脱脂液稀释使用，而应合理选用脱脂液的组成和配比，选择合适的超声波振荡频率和强度等参数。超声波脱脂对处理形状复杂、有微孔、盲孔、窄缝以及脱脂要求高的零件更为有效。
清洗工艺的方式有浸洗清洗、喷气、喷流清洗、刷洗、超声波清洗、喷淋清洗、减压清洗、喷雾清洗、旋转筒清洗、抛动清洗等。
喷淋清洗:在清洗槽内安装喷淋管，在气相中将清洗液喷射到被清洗物上，压力不足2kg/cm2。
减压清洗:在清洗槽内产生负压，由于减压，洗涤剂能较好地渗透到被洗物的缝隙之间。若和超音波作用，清洗效果会大大增强。
喷雾清洗:在洗涤槽内安装喷雾管，在气相中将洗涤喷附到被清洗物上的清洗方式。压力2-20kg/cm2。
超声波清洗设备一般可分为通用和专用两种机型。
专用超声波清洗机:一般安装在某些特定物件清洗的生产流水线上。
典型的软磁器件超声波清洗设备介绍：被清洗物件从进料口可传动的不锈钢专用网带送人超声波清洗槽清洗，再经喷淋、烘干等工序后出料，实现被清洗物件可直接包装入库。各工序简要说明如下：
①进料：物件进料可采用半自动进料
②压电式换能器目前国内外大多数超声波清洗机用的是压电式换能器，勘L形结构。
