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2.冷凝泵的点检
①冷冻机运行是否平稳。
②马达旋转是否为顺时针方向。
③温度、真空度是否正常。
④泵体外侧是否有冷凝水存在, 否则, 需进行再生。
⑤H2蒸汽压温度计在室温状态(即暴露在大气中) 的值是否在4.7～5.7K间。否则, 温度计可能有问题。
3.压缩机点检
①He气压、水流量、水温、油位是否正常。
②压缩机运转是否正常。
4.故障查找
4.1真空不良可能产生的原因。
①真空安全阀泄露。
②冷板安装不正确、劣化、再生不良。
③前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
④制冷温度达不到20K以下: a1冷冻机制冷能力劣化; b1压缩机压缩能力降低(很少发生) ;c1He气压力过低; d1He气充填压力过高。
冷凝泵的常规维护保养全解
1.冷凝泵的再生
1.1再生时间
①根据运转周期, 定期进行再生。
②制冷能力降低时(温度达不到20K以下; 真空度差), 进行再生。
1.2再生种类
①通常再生: 3～8h。
②急速再生: 当泵内含有毒性、腐蚀性、可燃性气体以及大量的O2水时,泵停止后,进行短时间再生。
1.3急速再生的实施
①关闭高阀, 将加热N2或室温N2气由Purge Gas口导入泵腔, 被稀释的毒性气体就会通过排气阀放出。这时, 冷板的温度若达不到77K以上, 泵室的压力就上不去, 气体也就无法释放出来, 而又会被凝缩在冷头上。
用N2进行冲洗时, 最好采用专用的放气管道来排出N2气。不得已要从安全阀释放时, 由于易产生真空泄露, 所以, 有必要对安全阀进行清洗。
②用加热毯进行加热。但要注意加热时, 温度不能超过70℃。否则, 会损坏冷凝泵。
冷凝泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。冷凝泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。因其洁净无污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出优势，被广泛的应用于科学研究实验室、乃至工业生产等众多领域，如半导体材料制作、平板显示器生产/测试设备、太阳能制造业、真空镀膜、热真空系统等。[1]
冷凝泵适用介质：清水 冷凝泵适用介质温度：0℃ 至 120℃ 冷凝泵使用范围
100N130和150N110型可输送120℃以内的液体，但其他泵输送液温不能超过80℃。
